СУЧАСНІ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ – АКСЕЛЕРОМЕТРИ
СУЧАСНІ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ – АКСЕЛЕРОМЕТРИ Ковбаса С.М., доц., к.т.н.; Димко С.С., ас.; Хітько М.А., студент
За останні декілька років широке розповсюдження у різних сферах промисловості отримали елементи, що базуються на мікроелектромеханічних системах, так званих МЕМСах. Популярність даних пристроїв обумовлена в першу чергу простотою їхнього використання, відносно низькою вартістю і малими габаритами. МЕМС-прилади зазвичай виготовляють на кремнієвій основі і вони складаються з низки елементів, які призначені для виконання більше ніж однієї функції.
